成像设备
EddyCus® TF map 2525系列

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非接触片状电阻、金属层厚度、电阻率和电各向异性绘图装置

EddyCus® TF map 2525系列在非接触模式下自动对高达250 x 250 mm²(10 x 10英寸)的样品进行特性成像。在手动定位样品后,设备自动测量并显示整个样品区域的特性分布。测量设置允许轻松和灵活地选择1分钟以下的快速测量时间或每个样品超过50,000个测量点的高空间测量分辨率。由此产生的图谱提供了对透明和非透明层或晶圆和金属片的均匀性和质量的真实见解。该台式设备可以根据其设置对片材电阻、金属厚度或光学透明度进行精确成像。

特征

类型

软件和设备控制

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