成像设备
EddyCus® TF map 5050系列

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非接触式板材电阻、金属层厚度、电阻率和各向异性成像装置

EddyCus® TF map 5050系列是一个高分辨率的非接触式成像设备系列,用于取样区域达500 x 500毫米(20 x 20英寸)。这个台式设备在不同的测量点上自动测量,通常X和Y的间距为1毫米(40密耳),产生精确的映射。该系统每秒飞快地获取数百个测量值,从而产生高分辨率的图像,每个样品包含多达25万个测量点。台式设备允许根据其设置对金属厚度、板材电阻或电各向异性进行精确成像。由此产生的属性图像提供了对金属层均匀性和缺陷密度的深入了解,因此为材料和工艺优化提供了深刻的基础。应用涉及溅射、蒸发、ALD、CVD、电镀或掺杂和退火过程的质量保证。

特征

类型

软件和设备控制

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