成像设备
EddyCus® TF map 5050系列
EddyCus® TF map 5050系列
- 非接触式成像
- 快速和准确
- 1毫米间距的高分辨率成像(也有0.25至10毫米的)
- 采样面积为500 x 500毫米(20 x 20英寸)
- 先进的层均匀性分析和缺陷镜
- 隐藏和封装的导电层的表征
- 精深的软件集成分析功能
- 系统的质量控制,进货检验,出货检验
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- 非接触式成像
- 快速和准确
- 1毫米间距的高分辨率成像(也有0.25至10毫米的)
- 采样面积为500 x 500毫米(20 x 20英寸)
- 先进的层均匀性分析和缺陷镜
- 隐藏和封装的导电层的表征
- 精深的软件集成分析功能
- 系统的质量控制,进货检验,出货检验
非接触式板材电阻、金属层厚度、电阻率和各向异性成像装置
EddyCus® TF map 5050系列是一个高分辨率的非接触式成像设备系列,用于取样区域达500 x 500毫米(20 x 20英寸)。这个台式设备在不同的测量点上自动测量,通常X和Y的间距为1毫米(40密耳),产生精确的映射。该系统每秒飞快地获取数百个测量值,从而产生高分辨率的图像,每个样品包含多达25万个测量点。台式设备允许根据其设置对金属厚度、板材电阻或电各向异性进行精确成像。由此产生的属性图像提供了对金属层均匀性和缺陷密度的深入了解,因此为材料和工艺优化提供了深刻的基础。应用涉及溅射、蒸发、ALD、CVD、电镀或掺杂和退火过程的质量保证。
特征
- 技术:非接触式涡流传感器
- 采样区域:500 x 500 mm
- 推荐的样品尺寸。1到20英寸/25毫米到500毫米
- 过程评估
类型
- 片状电阻成像 - EddyCus® TF地图5050SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
- 金属厚度成像 - EddyCus® TF map 5050MT [nm, µm, mm, mil]
- 电阻率和电导率成像 - EddyCus® TF map 5050RM [mOhm cm, MS/m]
- 电学(各向异性)成像 - EddyCus® TF map 5050A [MD/TD]
软件和设备控制
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