单点测试装置
EddyCus® TF lab 4040系列
EddyCus® TF lab 4040系列
- 非接触、实时、坚固
- 准确和非常可重复的测量
- 测量质量高
- 对敏感层没有伤害
- 不穿
- 用软件指导手工制图,实现系统化的质量保证
- 许多测量数据的保存和输出功能
- 节省空间的智能显示器集成
- 使用客户程序的软件开发工具包测试自动化
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- 非接触、实时、坚固
- 准确和非常可重复的测量
- 测量质量高
- 对敏感层没有伤害
- 不穿
- 用软件指导手工制图,实现系统化的质量保证
- 许多测量数据的保存和输出功能
- 节省空间的智能显示器集成
- 使用客户程序的软件开发工具包测试自动化
非接触片状电阻、金属层厚度、电阻率和电各向异性绘图装置
EddyCus® TF lab 4040系列专门用于中等尺寸基材的非接触单点测量。这个灵活适用的台式设备可以根据其设置精确手动测量片状电阻、金属厚度、光学透明度或电(各向同性)。最常见的应用包括测量透明和非透明的导电薄层、晶圆或金属片。
特征
- 技术。非接触式电涡流(各种类型的传感器
- 单点测量
- 定位区域。760毫米 x 660(开放)毫米
- 推荐的样品尺寸。10 x 10 mm² 至 400 x 400 mm² (0.5 x 0.5 英寸至 16 x 16 英寸)
类型
- 片状电阻 - EddyCus® TF lab 4040SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
- 金属厚度测试 - EddyCus® TF lab 4040MT [nm, µm, mm, mil] 。
- 混合系统:光学和电气传感的结合 - EddyCus® TF lab 4040HS [欧姆/平方,%]
- 各向异性测试仪 - EddyCus® TF lab 4040A [MD/TD]
- 湿涂层厚度和残余水分 - EddyCus® TF lab 4040HF [%]
软件和设备控制
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