用于电各向异性测量的单点测量装置 – EddyCus® lab 2020A
用于电各向异性测量的单点测量装置EddyCus® lab 2020A 用于测量导电层、涂层或基材的电各向异性。 非接触式实时测量 导电薄膜的精确测量 隐藏和封装的导电层的表征 测量数据保存和输出功能 要求报价 下载数据表 EddyCus® lab 2020A(各向异性)专门用于测量电各向异性和某些方向的片状电阻。 这对于需要主要在某一方向上导电的功能薄膜来说尤其重要,同时要达到最高的光学透明度。这种新型设备配备了集成的片状电阻各向异性传感器。这些传感器诱导定向电流进入机器和横移方向。所测得的定向片材电阻被用来精确测量电各向异性。这种非接触式测试方法提供实时的结果,避免了耗时的破坏性测试。它被用于各行业的快速测试和系统质量保证。 Terms and Concept “片状电阻各向异性 “是指平行和垂直于机器方向测量的电阻率差异 许多金属丝和网状结构可以有一个各向异性的片状电阻 电各向异性… … 可以根据接触模式的布局进行优化 …可以节省材料,提高光学透明度与板材电阻比 https://suragus-sensors.cn/wp-content/uploads/2023/03/Electrical-anisotropy-and-sheet-resistance-measurement-device-–-EddyCus-TF-lab-2020A.mp4 查看数据表。 数据表的EddyCus® lab 2020A 信息 片状电阻(欧姆/平方米) 机器方向(欧姆/平方米) 横移方向(欧姆/平方米) 组合板电阻(欧姆/平方米) 各向异性 TD/MD之比 各向异性(%) 典型材料 纳米线(Ag, Pt, Au等)。 金属网和网格(铜、金等)。 碳纳米管 纳米棒 各向异性描述 欲了解更多信息,请观看我们的数据表。 数据表的EddyCus® lab 2020A 测量技术 非接触式涡流传感器 基板 箔、玻璃、晶圆等。 基板面积 8英寸/204毫米x204毫米(三面开放)。 […]
单点测量装置 – EddyCus® lab 2020SR
单点片状电阻仪EddyCus® lab 2020系列 用于测量导电层、涂层或基质。 非接触式实时测量 导电薄膜的精确测量 隐藏和封装的导电层的表征 测量数据保存和输出功能 要求报价 下载数据表 EddyCus® lab 2020SR是一个非接触式的单点片状电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组,它能将微弱的电流诱导到导电薄膜和材料中。试样中的感应电流产生一个电磁场,与被测物的片状电阻相关联。该技术不受表面特征或形态的影响。此外,它不需要任何形式的充分的试样接触或准备,如已知的2或4点探针测试(2PP,4PP)或霍尔效应或Van-der-Pauw测量。它既不需要设置测试结构,也不受表面粗糙度或非导电性封装或钝化层的影响。此外,测量不会对被测薄膜产生物理影响。由于有机械磨损,涡流仪器有很长的使用寿命。它不受接触质量的影响,而且速度快,可以实现高重复性和精确度,有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。EddyCus工具可以由SURAGUS软件驱动,具有各种数据记录和输出功能,或者由SURAGUS软件开发工具包驱动的客户软件。 https://suragus-sensors.cn/wp-content/uploads/2023/03/Sheet-Resistance_-Metal-Thickness-and-Anisotropy-Measurement-Device-Series-EddyCus_lab-2020_2023_720p_tiny.mp4 查看数据表。 数据表的EddyCus® lab 2020SR 软件和设备控制 Very user-friendly software Intuitive, touch display navigation Real-time measurement of sheet resistance and layer thickness Software-assisted manual mapping option Various data saving and export options 欲了解更多信息,请观看我们的数据表。 数据表的EddyCus® lab 2020SR 测量技术 非接触式涡流传感器 基板 箔、玻璃、晶圆等。 基板面积 8英寸/204毫米x204毫米(三面开放)。 最大样品厚度/传感器间隙 […]
成像设备 – EddyCus® map C2C
自动化的高质量晶圆贴图 与EddyCus® map C2C 在整个测量过程中不接触到晶圆的平坦面 6英寸和8英寸晶圆 片状电阻、金属层厚度和电阻率测量 基板材料或导电涂层的均匀性 创新的浮动晶圆技术 要求报价 下载数据表 EddyCus® map C2C是一个全自动的测量设备,用于对半导体行业的晶圆基片或涂层进行全面积表征,以确保工艺可靠性和质量保证。 该系统配备了两个非接触式涡流传感器,以传输模式运行。这使得基片材料或导电涂层的均匀性可以得到非常详细的显示。EddyCus® map C2C的测量能力,用于测量板材电阻、金属层厚度和电阻率 我们的系统能够测量薄膜的片状电阻或金属层厚度,以及晶圆基材的电阻率。 https://suragus-sensors.cn/wp-content/uploads/2023/03/Introduction_Video_EddyCus_map_C2C_2023_tiny.mp4 查看数据表。 数据表的EddyCus® map C2C 创新的浮动晶圆技术 在该装置的开发过程中,重点是将系统与晶圆的接触减少到最低限度,以便不影响晶圆的完整性。因此,该装置几乎完全以非接触方式工作。晶片基底或涂层的表面不被触及。只在晶圆的侧面有选择地进行接触,而且接触的力量很小。请看我们的EddyCus® map C2C的视频以了解处理过程。 高分辨率、全表面的晶圆测绘 测量设备对晶圆或涂层进行高分辨率、全面积的成像,使您能够深入了解被表征晶圆的质量。根据设置和您的时间要求,可以得到几十个到几万个测量点的图像。 该软件还提供各种分析工具,如直方图或各种线型图。要想特别详细地查看晶圆上的某个区域,你可以用选择工具选择相关的位置,然后用线型图或直方图再次进行分析。 用于150毫米和200毫米晶圆的卡带 EddyCus® map C2C有一个可以容纳150毫米(6英寸)晶圆和200毫米(8英寸)晶圆的晶圆载体的加载装置。晶圆载体的容量为25片晶圆。 自动化晶圆处理 对于晶圆成像,晶圆从盒式/载体转移到涡流传感器,然后再放回盒式。对于希望减少处理晶圆的时间的制造企业来说,一个有用的工具是自动晶圆处理。我们的自动晶圆处理技术降低了劳动成本,提高了处理的准确性,并降低了人为错误的可能性。晶圆被测量、处理,并由系统精确地从晶圆盒运到测量站,再运回晶圆盒。通过这样做,不再需要人为操作晶圆,从而避免了测量错误和潜在的晶圆损坏。 专用于宽带隙材料,如SiC、GaN 一种被称为宽带隙材料的半导体材料的能量带隙比一般的半导体更宽。在半导体领域,晶体管和其他集成电路是使用宽带隙材料制成的。这些元件对半导体来说是至关重要的,因为它们能提供更大的功率效率和更快的开关时间。宽带隙材料适合于高功率应用,因为它们也有更大的击穿电压。它们能更好地抵御辐射,这使它们非常适合用于空间应用。碳化硅、氮化镓和金刚石是宽带隙材料的几个例子。许多不同的应用,如电源、太阳能电池和激光二极管,都利用了这些材料。 片状电阻、层厚和电阻率测量 EddyCus® map C2C能够确定薄膜的片状电阻和厚度,以及晶圆基板的电阻。该设备具有很大的测量范围,这意味着几乎所有可以想象的应用都可以通过该设备进行测量。 欲了解更多信息,请观看我们的数据表。 数据表,用于 EddyCus® map C2C 测量技术 非接触式涡流传感器,用于TTV的电容式或共焦式传感器 基板 6 / 8英寸晶圆 磁带 1 […]
手持设备 – EddyCus® portable
用于快速检测导电薄膜或基底质量的手持设备 基于非接触式涡流技术的快速、精确板材电阻、金属层厚度、电导率和发射率测量 – EddyCus® 便携式 1010。 小型和便携式的测量设备 手动测量 即时实时测量 通过蓝牙进行数字数据采集和数据传输 隐藏和封装的导电层的表征 要求报价 小型和便携式的测量设备 手动测量 即时实时测量 通过蓝牙进行数字数据采集和数据传输 隐藏和封装的导电层的表征 用于测量板材电阻、金属层厚度、电导率和辐射率的接触式手持设备 EddyCus® portable 1010是一种方便的便携式测量设备,用于在生产或现场对大型玻璃和铝箔进行快速接触测量,例如用于生产后的快速质量检查或作为进货检验。这款手持式设备甚至可以测量隐藏和封装的层。它是一个易于使用的设备,通过触摸显示屏进行控制。 https://suragus-sensors.cn/wp-content/uploads/2023/07/Introduction_of_the_hendheld_sheet_resistance_metal_layer_thickness_resistivity_emissivity_tester_EddyCus_portable_1010_2023_CN_riny.mp4 类型 片状电阻测试仪 – EddyCus® 便携式1010SR (欧姆/平方,OPS) 金属层厚度测试仪 – EddyCus® portable 1010MT (µm, nm) 电阻率/电导率测试仪 – EddyCus® 便携式 1010RM (mOhm*cm, MS/m) 发射率测试仪 – EddyCus® 便携式1010E(e) 应用 手动质量控制 来访检查 出境货物的检查 接触式单点测量 从150 x 150毫米的平面(根据要求设置为50 x […]
单点测量装置 – EddyCus® lab 2020
单点测试装置EddyCus® lab 2020系列 非接触式实时测量 导电薄膜的精确测量 隐藏和封装的导电层的表征 测量数据保存和输出功能 要求报价 下载数据表 非接触式实时测量 导电薄膜的精确测量 隐藏和封装的导电层的表征 测量数据保存和输出功能 用于单点测量的非接触式板材电阻和层厚测量装置 EddyCus® lab 2020系列可以对导电薄膜进行手动单点测量,并以非接触模式对薄金属层进行层厚测量。这个紧凑的台式设备是快速和准确测量200 x 200 mm²(8 x 8英寸)以下样品的理想选择。除了测量导电薄层外,还可以分析掺杂的晶圆和导电聚合物。 Characteristics Sheet resistance Thickness measurement of metal layers Single point measurement Quality control, input and output control Sample sizes: 10 x 10 mm² to 200 x 200 mm² (0.5 x 0.5 inches to […]
成像设备 – EddyCus® map 2530
成像设备EddyCus® map 2530系列 非接触式 快速和精确的测量 导电薄膜的高分辨率制图 对高达300×300毫米(12×12英寸)的基材进行成像 隐蔽和封装的导电层的表征,甚至是隐蔽和封装的导电层的表征 各种软件集成的分析功能 测量数据保存和输出功能 缺陷检测和涂层分析 要求报价 非接触式 快速和精确的测量 导电薄膜的高分辨率制图 对高达300×300毫米(12×12英寸)的基材进行成像 隐蔽和封装的导电层的表征,甚至是隐蔽和封装的导电层的表征 各种软件集成的分析功能 测量数据保存和输出功能 缺陷检测和涂层分析 非接触片状电阻、金属层厚度、电阻率和电各向异性绘图装置 EddyCus® map 2530系列在非接触模式下自动测量大型样品的薄层电阻,最大可达300 x 300 mm²(12 x 12英寸)。在手动定位样品后,设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的精确图谱。测量设置允许轻松灵活地选择低于1分钟的快速测量时间或超过10万个测量点的高空间测量分辨率。 https://suragus-sensors.cn/wp-content/uploads/2023/07/Sheet_Resistance__Metal_Thickness__Resistivity_Imaging_Device_-_EddyCus_map_2530_chinese_subtitle.mp4 特征 技术:非接触式涡流 通过多点测绘成像 定位区域。300 mm x 300 mm 采样区域:300 x 300 mm 推荐的样品尺寸。1英寸到12英寸或25到300毫米 类型 片状电阻成像 – EddyCus® map 2530SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS] 金属厚度成像 – EddyCus® […]
在线监测系统 – EddyCus® inline
在线监测系统EddyCus® inline系列 非接触式实时测量 测量速度高,可达 1,000 次/秒。 固定式传感器安装或穿越式传感器安装 每个系统集成1-99个监控车道 大气或真空环境下的过程控制 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙) 覆盖的导电层或封装的基板的表征 众多的软件集成了分析和统计功能 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。 无磨损 要求报价 非接触式实时测量 测量速度高,可达 1,000 次/秒。 固定式传感器安装或穿越式传感器安装 每个系统集成1-99个监控车道 大气或真空环境下的过程控制 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙) 覆盖的导电层或封装的基板的表征 众多的软件集成了分析和统计功能 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。 无磨损 用于过程控制的非接触片状电阻、层厚和电各向异性测量解决方案 EddyCus® inline在线系列以非接触方式测量各种基质的层属性,如金属层厚度、片状电阻、发射率、残留水分或克重。相关的基底是玻璃、箔、纸、晶圆、塑料或陶瓷。监测是通过永久测量或通过触发事件来完成的,以便在快速移动的涂层过程中获得等距离的结果。监测解决方案可以在大气或真空条件下实施。使用涡流技术的过程受益于高采样率。测量结果可以通过客户的软件提供给过程控制系统。此外,SURAGUS还提供监测软件EddyCus EC Control,它可以可视化、存储和分析计量数据。 类型 EddyCus® inline SR – 片状电阻监测(包括发射率) EddyCus® inline MT – 金属厚度监测 EddyCus® inline RM – 电阻率和电导率监测 EddyCus® […]
在线监测系统 – EddyCus® inline WT
钢丝和钢带测试在线监测系统EddyCus® inline WT 质量保证 过程控制 产量提高 通过有据可查的线轴/卷轴报告来获得客户信任 磁化 惊人的 直径/宽度为0.01至10毫米(其他根据要求) 扁平和圆形材料 0.1赫兹至50千赫兹,适用于高达50米/秒的运动 要求报价 质量保证 过程控制 产量提高 通过有据可查的线轴/卷轴报告来获得客户信任 磁化 惊人的 直径/宽度为0.01至10毫米(其他根据要求) 扁平和圆形材料 0.1赫兹至50千赫兹,适用于高达50米/秒的运动 用于过程控制的非接触式导电线和导电带测试解决方案 EddyCus® inline WT系列是为非接触的连续在线测试任何导电丝尖锐材料而设计的。这个解决方案可以实现过程控制,提高产量,以及进货和出货的检查。 下载 片状电阻 – EddyCus® inline WT[欧姆/平方] 每一长度的电阻 – EddyCus® inline WT[欧姆/米] 电阻率 – EddyCus® inline WT [Ohm cm] 厚度或体积 – EddyCus® inline WT [nm, µm] 联系我们 如果你有任何进一步的问题或想要一个报价 对于产品要求,请通过以下方式联系我们 联系表格。 […]
全宽度在线监测系统 – EddyCus® inline Sensorline
全宽在线监测系统eEddyCus® inline Sensorline 非接触式实时测量 测量速度高,可达50次/秒 固定式传感器安装或穿越式传感器安装 每个系统集成1-99个监控车道 大气或真空环境下的过程控制 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙) 覆盖的导电层或封装的基板的表征 众多的软件集成了分析和统计功能 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。 Wear- free 要求报价 Previous Next 非接触式实时测量 测量速度高,可达50次/秒 固定式传感器安装或穿越式传感器安装 每个系统集成1-99个监控车道 大气或真空环境下的过程控制 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙) 覆盖的导电层或封装的基板的表征 众多的软件集成了分析和统计功能 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。 Wear- free 用于过程控制的全面积非接触片状电阻和层厚测量解决方案 涡流全区域监测是通过使用EddyCus TF阵列解决方案来实现的。SURAGUS提供可堆叠的8个传感器模块,根据其配置,可以对多达128个测量通道进行在线监测。 EddyCus全面积的在线解决方案有助于监测小面积和大面积涂层的整个宽度。这使我们能够最佳地跟踪整个产品和工艺质量。因为你只能改善你能测量的东西,我们的解决方案使你能够优化你的产品和工艺质量。这使你比你的竞争对手有很大的优势。使用我们的软件,很容易对您的数据进行完美的分析。监测过程和产品数据真的很简单,让你在监测产品质量和过程数据的同时改善你的产出。 EddyCus TF在线系列测量层属性,如金属层厚度或在各种基质上非接触的片状电阻。 典型的基材是玻璃、箔、纸、晶片、塑料或陶瓷。测量是通过永久测量或通过触发事件来获得快速移动的涂层过程中的等距结果,或测量小试样上的特定位置。可以在大气和真空中进行监测。测量是通过高采样率获得的,可以直接提供给过程控制系统和客户软件。此外,SURAGUS还提供监测软件EddyCus TF控制,它可以可视化、存储和分析计量数据。 下载 传单 – EddyCus® inline Sensorline系列 联系我们 如果你有任何进一步的问题或想要一个报价 对于产品要求,请通过以下方式联系我们 联系表格。 电子邮件(sales@suragus.com) 或 电话(+49 […]