EddyCus® lab 2020SR是一个非接触式的单点片状电阻测量系统。该设备包含一个涡流传感器组，它能将微弱的电流诱导到导电薄膜和材料中。试样中的感应电流产生一个电磁场，与被测物的片状电阻相关联。该技术不受表面特征或形态的影响。此外，它不需要任何形式的充分的试样接触或准备，如已知的2或4点探针测试（2PP，4PP）或霍尔效应或Van-der-Pauw测量。它既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电性封装或钝化层的影响。此外，测量不会对被测薄膜产生物理影响。由于有机械磨损，涡流仪器有很长的使用寿命。它不受接触质量的影响，而且速度快，可以实现高重复性和精确度，有利于研发和测试实验室中各种薄膜的系统质量保证。EddyCus工具可以由SURAGUS软件驱动，具有各种数据记录和输出功能，或者由SURAGUS软件开发工具包驱动的客户软件。
软件和设备控制
- Very user-friendly software
- Intuitive, touch display navigation
- Real-time measurement of sheet resistance and layer thickness
- Software-assisted manual mapping option
- Various data saving and export options
数据表的EddyCus® lab 2020SR
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测量技术
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非接触式涡流传感器
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基板
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箔、玻璃、晶圆等。
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基板面积
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8英寸/204毫米x204毫米（三面开放）。
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最大样品厚度/传感器间隙
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3 / 5 / 10 / 25毫米（由最厚的样品定义）。
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金属薄膜（如铜）的厚度测量范围
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2纳米-2毫米（根据片状电阻（参考我们的计算器））。
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装置尺寸(W/H/D)
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11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm
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重量
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10公斤
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更多可用功能
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板材电阻测量/金属厚度监测
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测量技术
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非常低的片状电阻
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低片状电阻
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中型片材阻力
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高耐板性
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非常高的耐板性
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6个年代可由一个传感器测量，但精度略有影响
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范围[欧姆/平方]
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0.0001 – 0.1
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0.1 – 10
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0.1 – 100
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10 – 2,000
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1,000 – 200,000
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准确度/偏差
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± 1%
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± 1 – 3%
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± 3 – 5%
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重复性（2σ）
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< 0.3%
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< 0.5%
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< 0.3%
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- 非接触式实时测量
- 导电薄膜的精确测量
- 隐藏和封装的导电层的表征
- 测量数据保存和输出功能
用于单点测量的非接触式板材电阻和层厚测量装置
EddyCus® lab 2020系列可以对导电薄膜进行手动单点测量，并以非接触模式对薄金属层进行层厚测量。这个紧凑的台式设备是快速和准确测量200 x 200 mm²（8 x 8英寸）以下样品的理想选择。除了测量导电薄层外，还可以分析掺杂的晶圆和导电聚合物。
Characteristics
- Sheet resistance
- Thickness measurement of metal layers
- Single point measurement
- Quality control, input and output control
- Sample sizes: 10 x 10 mm² to 200 x 200 mm² (0.5 x 0.5 inches to 8 x 8 inches)
- Measurement range: 0.1 mOhm/sq to 100 kOhm/sq
类型
应用的领域
- 镀膜建筑玻璃，例如LowE
- 显示屏、触摸屏和平板显示器
- OLED和LED应用
- 智能玻璃
- 石墨烯层
- 光伏硅片和电池
- 半导体硅片
- 金属化层和晶圆金属化
- 除冰和加热应用
- 电池电极
- 导电性涂布纸和导电性纺织品
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