在线监测系统
EddyCus® inline系列
EddyCus® inline系列
- 非接触式实时测量
- 测量速度高,可达 1,000 次/秒。
- 固定式传感器安装或穿越式传感器安装
- 每个系统集成1-99个监控车道
- 大气或真空环境下的过程控制
- 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量
- 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定
- 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙)
- 覆盖的导电层或封装的基板的表征
- 众多的软件集成了分析和统计功能
- 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。
- 无磨损
- 非接触式实时测量
- 测量速度高,可达 1,000 次/秒。
- 固定式传感器安装或穿越式传感器安装
- 每个系统集成1-99个监控车道
- 大气或真空环境下的过程控制
- 在许多应用中,可以进行非常接近基材边缘的测量
- 在不断变化的环境中通过温度补偿测量实现长期稳定
- 与测试材料的距离较大(例如,60毫米/2.4英寸的间隙)
- 覆盖的导电层或封装的基板的表征
- 众多的软件集成了分析和统计功能
- 通过EddyCus RampUp软件轻松设置,包括系统校准的向导。
- 无磨损
用于过程控制的非接触片状电阻、层厚和电各向异性测量解决方案
EddyCus® inline在线系列以非接触方式测量各种基质的层属性,如金属层厚度、片状电阻、发射率、残留水分或克重。相关的基底是玻璃、箔、纸、晶圆、塑料或陶瓷。监测是通过永久测量或通过触发事件来完成的,以便在快速移动的涂层过程中获得等距离的结果。监测解决方案可以在大气或真空条件下实施。使用涡流技术的过程受益于高采样率。测量结果可以通过客户的软件提供给过程控制系统。此外,SURAGUS还提供监测软件EddyCus EC Control,它可以可视化、存储和分析计量数据。
类型
应用的领域
- 建筑玻璃(LowE)
- 包装材料
- 显示屏和触摸屏
- 光伏技术(薄膜和晶体硅
- 镜面涂层
- 电容器
- OLEDs和LEDs
- 智能玻璃
- 金属层和晶圆金属化
- 除冰和加热
- 电池和燃料电池
- 涂层纸和导电纺织品
- 石墨烯层
- 抗菌涂层
设置
- Inline R2R
- Inline S2S
- 集群工具
- 整合到处理区
- 传输和反射设置
流程
- 沉积(PVD、ALD、(PE)CVD、电镀、印刷、喷涂等)
- 烧蚀/结构化(蚀刻、抛光、激光等)
- 掺入/植入
- 回火/退火
- 烘干/加热
接口
- TCP, UDP
- Modbus
- CSV, XML
- 模拟、数字
- 基础设施
传感器
- 传感器S (许多选项)
- 传感器S - 半真空(仅真空)
- 传感器M
- 传感器XS
- 定制的表格(多传感器
环境
- 气氛
- 真空
- ATEX
- 根据要求提供高温版本
接线设置
- 传感器位置附近的控制柜安装
- 靠近传感器位置的直接安装工具安装
- 完整的传感器集成硬件
联系我们 如果你有任何进一步的问题或想要一个报价
对于产品要求,请通过以下方式联系我们
- 联系表格。
- 电子邮件(sales@suragus.com) 或
- 电话(+49 351 32 111 520) 或
- 微信.
为了得到快速和翔实的回答,请描述您的测量任务(如材料、样品大小、预期测量范围)并提供您的电话号码。